



*1. FCVA方式 ... Filterd CathodicVacuumArc
*2. ta-C膜(水素基フリーのDLC) ... TetrahedralAmorphous Carbon
*3. Micc膜 ... Metalnanocrystalline Compound
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2009.10.23 次世代固定砥粒加工プロセス研究会でFCVA, ta-C膜について講演。





*1. FCVA方式 ... Filterd CathodicVacuumArc
*2. ta-C膜(水素基フリーのDLC) ... TetrahedralAmorphous Carbon
*3. Micc膜 ... Metalnanocrystalline Compound
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2009.10.23 次世代固定砥粒加工プロセス研究会でFCVA, ta-C膜について講演。