大型バッチコーティング装置

2 sets FCVA carbon source

1 set FCVA metal source

1 set Ion Beam source

Batch Coating System　｜　Load/Lock Coating System　｜　Modular in-line Coating System 　｜　De-coating System

精密金型用コーティング装置

Load/Lock system

FCVA carbon source

Ion Beam source

HV pulsed DC bias

超大型コーティング装置

3 sets FCVA carbon source

2 sets FCVA metal source

1 set Ion Beam source

Chamber dimension 1250mm dia X 1000mm height