アプリケーション

内燃機関（AICE）車

圧縮成型されるガラスレンズ用金型では、優れた耐熱性、耐摩耗性、離型性が要求されるほか、高価な金型の再利用化もコスト的な重要課題となっていました。従来のDLC膜は硬く、摩擦係数も低いことから、これらの要求性能を満たすコーティング膜として採用されてきたものの、ガラス硝材の性能多様化に伴い十分な成型寿命を実現できないケースが発現してきました。

電気自動車（EV）の駆動用モーターでは小型化・軽量化と高出力化を両立するために高速回転化が不可欠になっており、モーターの回転軸を支えるベアリングの高速回転化に向けた技術開発が進んでいます。ベアリングの高速回転化に伴いグリースの潤滑不良などが懸念される中、FCVA成膜技術による水素フリーDLCコーティングであるta-C膜は高い潤滑性（低い摩擦係数）と優れた耐摩耗性から、EV駆動用モーターのベアリングの高速回転での信頼性を向上させます。

DLCコーティング及びTAC コーティング（水素フリーのDLCコーティング）は、半導体関連部品向けに、以下の表面特性を付与すべく適用されています。
DLCコーティングは広く耐摩耗性用硬質薄膜としてその名称として知られております。当社のTAC（Tetrahedral Amorphous Carbon）コーティングは、DLC（Diamond-Like Carbon）コーティングの中でも特に高いsp³結合比率を持つ高性能タイプのコーティングです。ダイヤモンドに近い構造を持つことで、極めて高い硬度（約4000HV）と優れた耐摩耗性を実現します。
当社では、半導体製造に使用される各種部品に対して、FCVA技術によりドロップレッドの少ないTACコーティング（水素フリーのDLCコーティング）の適用を行っております。
TACコーティング（水素フリーのDLCコーティング）は、優れた耐摩耗性・低摩擦性・高硬度を兼ね備えた薄膜技術であり、半導体製造工程における部品の寿命延長やパーティクル発生の抑制に大きく貢献します。特に、真空環境下で使用される搬送部品や治具、エッチング装置の構成部材などにおいて、TACコーティング（水素フリーのDLCコーティング）は高い効果を発揮します。

縫製機械部品へのTACコーティングの適用について

当社では、縫製機械部品の耐久性と性能向上を目的として、TACコーティング技術を導入しています。

DLCコーティングは、高い耐摩耗性・低摩擦係数・高硬度を合わせもち糸や布との摩擦摩耗低減に効果があります。

当社のTACコーティングは、水素フリーで潤滑油との親和性も高く、ピストンリング等にも応用されており、摺動（しゅう動）部材への適用が幅広く進んでおります。

TACコーティングは、以下のような特長を持っています：

装飾用コーティング

NTIの装飾用コーティング膜は、家電やスポーツ用品、医療機器などの金属部品の表面に、耐摩耗性や耐食性、高品質な美観、耐指紋性などを付与します。

また、家電や医療機器などの樹脂部品に対しては多彩な金属調の色合いや耐摩耗性、耐食性などを付与する装飾用コーティングも用意しております。

装飾用コーティング膜の特⾧:

・金属製品へのコーティング

・Zn, Mg, Al, SUS その他の金属材料に直接成膜

・独自開発の美しいDLC カラー (Bluish Black)

セラミック（セラミックバルブ（水栓、HPLC））

セラミックバルブへのDLCコーティング適用について

当社では、セラミック製バルブ（水栓・HPLC用途）に対して、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングのひとつであるTACコーティングの適用を行っております。

TACコーティング（水素を含まない高硬度なDLCコーティング）は、以下のような特性を持ち、セラミックバルブの性能向上に大きく貢献します。

ゴム、プラスチック

NTIのFCVA成膜技術による水素フリーDLCコーティングであるTACコーティングは、室温成膜が可能で、熱による変形がないことから、プラスチック材料やゴム材料といった低融点材料へのコーティングを可能としています。

特長

＊ 室温成膜
・低融点材料へのコーティング
・熱による変形がない
＊ 装飾膜のキズ付き防止
＊ 耐摩耗性の向上
＊ 耐腐食性の向上

適用例

EMC膜：プラスチックへの金属膜
• 電磁波の遮断
• キズ付き防止

静電気放電膜（Electrostatic Discharge Coating）

NTIの静電気放電膜（Electrostatic Discharge Coating）は、 静電気の急速な変化を低減する目的や、 電子アセンブリ・電子部品など静電気の影響を受けやすいアイテムを保護する目的で、採用されています。

静電気放電膜（ESDコーティング）が実際に適用されうる用途して以下があります。：

半導体パッケージ封⽌⾦型⽤離型膜(MiCC)

半導体の高密度配線化（ファインピッチ化）や高機能化、小型・薄型化、高速化のニーズの進展とともに、高精度の半導体をパッケージングする封止金型の離型膜には、化学的安定性やファインピッチ化に対応する高精度成型のための離型性の向上、金型の長寿命化につながる耐摩耗性の向上など、様

樹脂射出成型金型用離型膜

近年、射出成型加工のハイサイクル化に伴う金型の耐久性向上に加えて、薄肉形状や複雑形状の成型品の離型性の改善が求められています。

NTIのFCVA成膜技術による樹脂射出成型金型用離型膜であるMiCC膜および水素フリーDLCコーティングであるTAC-ONコーティングは、摩擦係数が低く、耐摩耗性および離型性に優れるため、上述の課題を解決し生産性の向上に貢献します。

特長

1．低い表面エネルギー（離型性向上）

アルミニウム合金向け切削工具

アルミニウム合金の切削では工具切れ刃付近への被削材の凝着が生じやすく、その結果として生成される構成刃先が脱落することによって切れ刃にチッピングを引き起こし、工具寿命を短くし、加工面精度を劣化させます。また、刃先すくい面への被削材の凝着によって切りくずの排出性が低下し、切削抵抗が増加し、ついには切削不可能になるという問題があります。

これに対しFCVA成膜技術を用いて、低摩擦係数、高硬度で耐摩耗性に優れ表面が平滑な水素フリーDLCコーティングであるta-C膜を成膜したエンドミルでは、アルミニウム合金の凝着を抑制することで、工具寿命を延長するとともに、加工面精度を向上させます。

精密金型にDLCコーティングを適用する際、被膜の密着性や被成形材の凝着性・離型性、表面の平滑性、耐摩耗性は重要な要素で、特にアルミニウムや銅、ニッケル、リードフレーム材、樹脂材料などの非鉄金属材料は、成形中に金型表面に付着しやすいため、被成形品の表面にカジリや傷などが発生し、寸法・品質不良となることがあります。

このような金型表面への被成形材付着の抑制には平滑性と熱・化学安定性の高いDLCコーティングを選定することが重要で、また、DLCコーティングを硬くすることにより被膜の耐摩耗性や耐カジリ性を向上できます。こうしたことから、精密金型の使用条件に最適なDLCコーティングとして、平滑性に優れ硬度の高い水素フリーDLCコーティングであるta-Cコーティングへの要望が高まっています。

内径成膜（非球面レンズ金型、筒）

DLCコーティングは、生体適合性があることが知られており広く医療機器への用途で様々な開発がされています。当社のTACコーティングは、水素フリーのアモルファスカーボン膜であるため安定した化学特性、高い耐腐食性、高硬度等の特性を持っています。これらは医療機器向けのコーティングに最適であり、手術器具（手術用はさみ、鉗子、ドリル、針等）等の様々な用途への利用が期待できます。光の乱反射防止としても効果があります。

アモルファスカーボン膜の血小板付着防止やたんぱく質の付着防止性能があることが知られています。我々も生体適合性をもつ機能性膜で医療分野に積極的に貢献いたします。

・性能

血小板付着防止

たんぱく質付着防止

光の乱反射防止

耐腐食性